Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui kelayakan, kepraktisan dan keefektifan bahan ajar Modul yang dikembangkan untuk meningkatkan keterampilan proses
sains siswa. Penelitian ini dilakukan di MTS Al-Mujtahid Pontianak dengan siswa kelas VIII sebagai sampel penelitian. Model yang digunakan pada penelitian ini adalah R&D (Research and Development) merupakan salah satu model yang
digunakan dalam prosedur pengembangan produk dengan menggunakan prosedur ADDIE. Instrumen penilaian yang digunakan dalam penelitian ini berupa lembar pernyataan ahli materi dan media serta angket respon guru dan siswa. Temuan
penelitian ini berupa bahan ajar modul untuk meningkatkan keterampilan proses sains siswa pada materi sistem gerak hewan dan tumbuhan. Kriteria yang didapat yaitu sangat layak dengan persentase 86%. Berdasarkan penilaian ahli media yaitu 80,66% dan ahli materi 90% untuk penilaian angket respon guru yaitu 72% dan angket respon siswa 86% berdasarkan persentase angket respon guru dan siswa
termasuk didalam kriteria sangat praktis dan hasil posttest siswa dikatakan sangat efektif dengan persentase 85,71%. Disimpulkan bahwa modul yang dikembangkan sangat layak digunakan untuk bahan ajar pembelajaran.

Kata Kunci: Pengembangan Modul, Inkuiri Terbimbing, Keterampilan Proses Sains